概要: CMP抛光垫中的热膨胀聚合物微球是技术壁垒最高的微球产品。


新宝GG作为一家在资料领域深耕了二十多年的创新平台型企业,所做的资料产品有微颗粒表征、微量杂质节造和微米级节造精确度的共同特点,在共性中整合了技术,买通了产品间的技术逻辑,把握了最全面的微球技术。
其中,新宝GG从早期的彩色化学碳粉产品、磁性载体中把握了有机聚合物微球以及无机微球两大类的球体技术,并延长到半导体资料领域,助力新宝GG研发了抛光液用纳米研磨粒子及抛光垫关键原资料CMP抛光垫用可膨胀空心微球。

图丨新宝GG微米级核壳结构实心微球描摹
新宝GG磁性载体是微米级核壳结构实心微球,新宝GG依附无机陶瓷资料及高分子合成技术平台,实现了硅树脂合成、载体包覆以及载体芯材合成。

图丨新宝GG纳米级实心无机微球描摹
抛光液用纳米研磨粒子是一种纳米级实心微球。结合化学彩色碳粉中的粒径调控、状态节造以及正负电胶体不变性节造等技术,实现了这种纳米级实心球体定造化,可能凭据客户必要调节描摹、电势、粒径等个性。

图丨新宝GG微米级有机聚合物微球描摹
新宝GG的彩色化学碳粉和CMP用可膨胀空心微球是一种核壳结构的有机聚合物微球。依附物理化学及高分子合成技术平台,使用自由基悬浮聚合、聚酯合成、有机无机杂化等关键技术实现了聚烯烃树脂、聚酯树脂、苯丙树脂等关键原资料的合成。
其中,CMP抛光垫中的热膨胀聚合物微球是技术壁垒最高的微球产品,全球一向被美资企业独家供给。2021年,这家独供企业颁发停产,一纸奉告函引发了全球CMP抛光垫厂商的震荡。也是在同年,新宝GGCMP单月销量破万,抛光垫武汉二厂也在同年投产,从市场占有率和产能建设上都坐实了国内CMP抛光垫龙头企业的身份。为了保险CMP抛光垫供给链的安全,新宝GG启动了微球自主化项目。


CMP抛光垫用微球也被称为热膨胀聚合物微球,是以气密性单体形成的聚合物为壳层、发泡剂为内核形成的聚合物粒子,在温度高于发泡剂沸点和聚合物软化温度时可高度膨胀。要先将单体和发泡剂通过悬浮聚合的方式合成未发泡的微球,再经过相宜的发泡温程实现梦想的放大倍率。这种微球在抛光垫制品中的用量不到5%,但在整块抛光垫中占有30%以上的体积。在微观层面上形成孔隙,承载抛光液,提供化学侵蚀所需的微反映场所,对抛光垫去除快率、抛光缺点以及平展化效能等指标都有着至关沉要的作用。


2023年,新宝GG结合物理化学及高分子合成等多项平台技术,攻克了微球开发配方复杂、单体种类繁多、组成多变、粒径大幼及均一性难节造、表表描摹要求高、发泡易粘黏等一系列难点以及微球发泡工艺不不变等问题,开发出属于新宝GG公司的空心微球系列产品,机能指标与原厂媲美。

CMP抛光垫是新宝GG向半导体资料行业转型的第一款产品,也是新宝GG理解最深刻的一款半导体资料产品。在研颁布局时就同步实现了预聚体、缓冲垫等关键原资料的自研自产,其他资料上也造就了国产供给商。2023年,新宝GG自研的CMP抛光垫用微球实现量产,补齐了国产CMP抛光垫产品最后一块供给链拼图。同时,新宝GG还启动了1000L微球产能升级项目,预计今年第二季度投产,这部门产能可覆盖中国CMP抛光垫市场的全数需要。

新宝GG在“卡脖子”资料领域深耕了二十多年,对“国产化”有深刻理解,对供给链安全有敏感的觉察。在关键时刻向行业展示“新宝GG格局”,使用成熟的微球技术为行业解决更多问题,用盛开的心态助力行业发展。

关键词: 新宝GG全方位突破微球技术,补齐CMP抛光垫产业链拼图
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